11月29日，中科院光电技巧研讨所承当的国度严重科研设备研制项目“超分辩光刻设备研制”经由过程验收，这是世界上首台用紫外光源完成了22纳米分辩率的光刻机。

中科院光电所科研人员操作超分辩光刻装备(供图：中科院科技摄影同盟)