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世界上首台紫外光源22纳米分辨率光刻机中国问世

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放大字体  缩小字体 发布日期:2018-12-25   来源:科技日报   浏览次数:882
核心提示:11月29日,中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收,这是世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机。
  11月29日,中科院光电技巧研讨所承当的国度严重科研设备研制项目“超分辩光刻设备研制”经由过程验收,这是世界上首台用紫外光源完成了22纳米分辩率的光刻机。


超分辨光刻装备研制,国家重大科研装备研制项目

中科院光电所科研人员操作超分辩光刻装备(供图:中科院科技摄影同盟)
 
 
 
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